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小型高溫蒸鍍儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型高溫蒸鍍儀,鎢舟加熱,或者坩堝加熱,溫度可達(dá)1800度,帶樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能,使鍍膜更加均勻

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1650CVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1803
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品牌鄭科探產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

小型高溫蒸鍍儀,鎢舟加熱,或者坩堝加熱,溫度可達(dá)1800度,帶樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能,使鍍膜更加均勻,

軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、PbAg、Al、Cu、CrAu、Ni等材料。


    專(zhuān)業(yè)真空蒸發(fā)電源,數(shù)顯工作電流和電壓,恒流輸出;

    可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;

    襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm

    可調(diào)速旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)使薄膜更均勻

    可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機(jī)物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;

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不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒(méi)有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


小型高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa



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